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半導体用フッ化水素酸

Electronic grade Hydrofluric acid

化学式 HF
分子量 20.01
外観 無色の液体
包装 18,000kg　　　9,000kg　　　6,000kg　　　3,000kg　　　1,000kg　　　200kg　　　100kg　　　25kg　　　5kg
物性 密度[g/cm3]　1.17
融点　‐36.1℃
沸点　104℃
溶解度[g/100g H2O] 　本品水溶性
官報公示整理番号 1-306
CAS No. 7664-39-3