コンタクトホール洗浄液
CH-Clean (Contact Hole Cleaning Solution)
| 化学式 | HF+NH4F+Surfactant |
| 分子量 | 20.01(HF)、37.04(NH4F) |
| 外観 | 無色の液体 |
| 包装 | 1,000kg 200kg 100kg 20kg 5kg |
| 物性 | 表面張力<surface tension> 45N/m
<Etching rate of SiO2 film> 1.5 nm/min at 20℃ |
| 官報公示整理番号 | 1-306(HF) 1-311(NH4F) |
| CAS No. | 12125-01-8(NH4F) 1341-49-7(NH4HF2) |
2010 (C) MORITA CHEMICAL INDUSTRIES CO., LTD.
